データ未整備のウェーハに関して、QuantumATKは材料に関する重要な問題を解決し、高度な半導体モデリング・開発に要する時間とコストを削減します。Synopsys DTCOソリューションの一環としてQuantumATKとTCADは統合し、材料からデバイスのモデリングまで、完全なワークフローを提供します。
業界をリードする当社の原子シミュレーション・プラットフォームを利用すれば、データ未整備のウェーハに関して、電子、構造、磁気、光学、熱など、新規材料の特性と、新規デバイスに及ぼす影響を計算できます。高度な半導体技術開発に要する時間とコストの削減に寄与します。
相互接続スタックの配線、ビア抵抗低減、に関して、配線用の代替金属およびバリア材料の探索が可能です。TCAD Raphael FXへのリンクを介して、複雑なプロセス構造の相互接続抵抗と静電容量の評価が可能です。
詳細を見る材料の組成、厚さ、およびドーパントなどを変化させ、HKMGスタックの目標性能達成のための条件を探索します。TCAD S-Deviceへのリンクを介して、最適な仕事関数、最小のリーク電流、および最大静電容量を得ることができます。
表面の化学組成、入射粒子のエネルギーやタイプに関して、 エッチングとスパッタリングのプロセス最適化を行います。 TCAD S-Processへのリンクを通じて、熱誘起およびプラズマに基づくプロセスを描述します。
“[… The QuantumATK package] has proven to be an integral part of our studies, allowing us to explore from the atomistic level nanostructures that are directly relevant to nano-electronic technology design […] “
Prof. Jim Greer | University of Nottingham, Ningbo China Campus
“ I’ve used a lot of codes for MD, DFT and semi-empirical total energy and transport calculations in the past and I can easily say that [QuantumATK] is better by a huge margin. […] “
User from Semiconductor Industry
“[Synopsys QuantumATK Team] has managed the tour-de-force of blending high performance material modeling techniques (combining solid state physics, chemistry and molecular dynamics) with user-friendliness. […]”
QuantumATKにご興味のある方は、詳細について、こちらのサイトから、もしくは quantumatk-japan@synopsys.com までお問い合わせください。