DiffractMOD 製品概要

回折光学構造用のRCWAシミュレーションツール

DiffractMODTMは、回折光学素子、サブ波長周期構造、フォトニックバンドギャップ結晶などの回折光学構造の設計とシミュレーションのためのツールです。高速フーリエ展開や一般化された伝送線路法など高度なアルゴリズムで実装されたRigorous Coupled Wave Analysis (RCWA) 技術をベースにしています。すでに市場をリードしているこのツールは、半導体製造や波動光学を含む幅広い分野で応用されています。

金属製グレーティング構造のフィールドプロファイル

メリット

  • 基本的なRCWAを拡張し、ロバスト性、効率性、使いやすさを向上させる高度なアルゴリズムオプションを搭載しています。
  • RSoft CAD 環境に完全に統合されています。

アプリケーション

DiffractMODは、誘電体および損失性または分散性を持った金属材料を含む複雑な周期構造を取り扱うことができます。以下のような幅広いデバイスへの応用が可能です。

  • 導波路共振型グレーティング
  • 回折光学素子(DOEs)
  • 表面レリーフ型・体積グレーティング
  • 波長フィルター
  • 光計測
  • ナノリソグラフィー
  • 偏光依存型デバイス
  • 誘電体コーティング
  • 太陽光発電システム
  • 3Dディスプレイ
  • 光インターコネクション
  • 光データストレージ

特徴

  • 収束性を向上させるため、高度なアルゴリズムオプションを使用しています。
  • モーダルトランスミッションライン(MTL)フレームワークにより、シミュレーションを安定させることができます。
  • 2Dおよび3Dの完全なベクトルシミュレーション、さらにコニカル入射も対応可能です。
  • TMフィールドの収束性を向上させるためにInverse ruleを使用します。3Dシミュレーションでは、DiffractMODは構造に応じて適切なアルゴリズムを選択することができます。
  • 材料の分散や金属の複雑な屈折率を考慮することができます。
  • 任意の回折次数における回折効率の計算、表示、およびスペクトルの出力が可能です。
  • 全反射パワー、透過パワー、吸収パワーの計算が可能です。
  • 洗練されたフィールド出力オプションにより、任意の位置でのフィールドプロファイルを計算し、表示することができます。
  • 任意の回折効率の波長、角度、偏光に対するスペクトルを簡単に計算することができます。
  • 一般的な計測パラメータを直接出力できます。

DiffractMODによる位相シフトマスクのシミュレーション

アプリケーション事例